看来你是在用氢气发生器，我这里已经有两台6890由于氢气发生器弄坏了FID的EPC了，现在用的是钢瓶推荐更换钢瓶氢气。看你的EPC有没有堵死，把设定流量提高或者翻倍，如果能点着，就用钢瓶气对付着用，还是别用氢气发生器A的EPC太“娇”“贵”了。

氢气返碱，别说EPC，就是阀也受不了呀，所以氢气发生器用的方便，但不安全。

fid 的epc 坏了的可能性比较大，我们有两台6890都出现过这个问题，而且都是氢气这路出现问题。最初重启还会恢复正常，后来就怎么都不行了。仪器检测不到氢气这一路，工作站氢气的参数是灰色的，无法激活。最后换整个epc，三万多！