LaB6灯丝电镜做不了HAADF，电子束流强度不够，至少是肖脱基热场发射枪电镜才可。我所知道国内金属所，硅酸盐所，物理所，上海交大，西安交大，北航等单位装备了高角环扫暗场探测器。
（1）HAADF和HREM成像原理完全不同，我的理解大概两者是“互补”吧。HREM是相位衬度像，是相干成像。而HAADF是非相干成像，去处了相位的影响，当然HAADF中也包括了高阶衍射。两者的相位传递函数CTF完全不同，HREM在超过Schezer欠焦后衬度会反转，而HAADF的的CTF总是正值，所以HAADF像中的一个亮点总是对应样品中的一个原子柱，改变欠缴和厚度其衬度都不会反转。另外从理论上讲，HAADF的分辨率要高于HREM，HREM的分辨率是HAADF的三分之二。
（2）HAADF的像点强度可以看作物体势函数和电子束斑强度分布的卷积，HAADF分辨率基本取决与电子束斑的大小，而电子束斑大小由束斑形成系统（包括电子枪静电透镜，两级中间镜以及物镜前场）决定，物镜球差越小，则束斑尺寸也越小，HAADF分辨率也越高。同时，电子束斑尺寸也取决于欠焦值，欠缴值越大，则电子束斑强度分布的中心斑点尺寸就减小，意味着HAADF分辨率提高，但同时，中心斑点周围会出现晕环，会在HAADF中引入假象，所以一般认为Schezer欠缴也是HAADF的最佳欠缴条件。但也有人通过计算表明，Mory 条件下的欠缴是HAADF的最佳欠缴值。最后，聚光镜光栏大小也对电子束斑的大小有影响。最佳的光栏尺寸由Gaussian聚焦条件下，非晶Ronchigram花样中心圆盘的大小决定。
（3）HAADF的像点强度不完全和原子柱中的平均原子序数Z的平方成正比，只有在HAADF探测器的内环孔径角大于180度，也就是Rutherford背散射条件下，Z的平方的关系才成立，一般应该是Z的1.7次方。HAADF像也应该尽量在薄区获取，因为随厚度增加，虽然像点的亮度会增加且衬度不反转，但同时背底噪声也快速增加，直到某个厚度，像点和背底的强度一样。HAADF像也有个类似临界厚度，超过此临界厚度后，电子束沿原子柱传播时会展宽到临近的原子柱，从而有可能在最终的HAADF像中引入假像。
(4)HAADF像应尽量在薄区获得。当原子柱中包含搀杂原子的时候，像的强度分析变的复杂。应通过模拟计算才能最终确定搀杂密度。
（4）在利用无慧差的光轴合轴以后，插入HAADF探测器，然后从Gaussian聚焦稍微欠缴，一般就应该得到高分辨HAADF像。另外当晶体取向不正的时候，利用点模式下插入聚光镜光栏后得到的CBED图，可以调节晶体取向。
HAADF成像原理相对简单，并且操作也不是很复杂（除了漂移及样品污染两个比较重要的问题）。由于HAADF像可以同时给出原子分辨率的结构及成份信息（如果再配备EELS和GIF系统则更完美），所以必将是以后电子显微学的研究热点。

哇，大家讲的东西都好高深啊。看来我还得多学习啊，电镜这条路很不好走呢

~~谢谢分享~~~

thx a lot~~

写得真不错

那stem附件只能拆下来给场发射用了．．．
白买了．．．

支持一下～～～

我想问一个关于STEM和EDX的问题。 我所用的STEM 只配有EDX，没有EELS。可以作EDX mapping。我现在要研究的是一种core－shell的纳米颗粒，直径约有十几到二十几纳米，通常观察的倍数在600K到800K。 我觉得存在这样两个问题：1高倍下会有很小的漂移，而mapping通常需要的时间较长，因而得到的元素分布总是和结构不匹配。 2 对于core－shell的纳米颗粒，因为有shell的包覆，中心core的成分很难用EDX （无论是mapping或点扫描）确定。
请问有什么解决的办法？

积分不够，下载不了你的附件，可以把你的附件传给我一份吗？非常感谢！
yestier@cn.yahoo.com

imrwb 发表:大家好！目前在金属所的F30 常发射电镜上，已经作出了许多Z衬度像，目前已经出了好几篇文章。 目前来说本人算上比较有实战经验的。大家可以一起讨论交流的。
STEM实战经验

不知做纳米线的高分辨像和电子衍射用STEM可以完成吗？与TEM比，那个效果好。我是新手，见笑了。