娴闲
第22楼2013/10/15
hunk
第25楼2014/04/06
300x实际上是能够接甲烷反应气的,只是不能接强腐蚀性的NH3。理论上来说氦气与甲烷并联通过三通及开关是可以同时进入到质子流量计中的。抛砖引玉---示意图如下:
timstoicpms
第26楼2014/04/06
原来这就是所谓的 PE 300XX。照你这么说还可以整个七通阀:第一路接He、第二路接O2、第三路接N2O,第四路接CH4,第五路口接CH3F、第六路接CO2——把可能用到的反应气体都囊括了,六大门派汇聚之后再进入 质量流量计(Mass Flow Controller)。
PE NexION 300X/D 的氦气是不锈钢管路。PE Elan DRC-e通入的甲烷气,从甲烷钢瓶到质量流量计这段是PFA塑料管路,从质量流量计到DRC池这段才改用不锈钢管路。
hunk
第28楼2014/04/14
按实际实际使用气体标定显示,显示的是实际气体的流量, 比较直观。但在很多的实际应用场合,只需要找到一个合适的流量参数并保证测量和控制的重复性,至于该气体的实际质量流量是多少,用户并不是特别关心。在这种情况下,您直接使用厂家的标准出厂产品(氮气标定显示)也可以。当然,如前面所提到的,您在选定流量规格时,需要换算一下,以选择合适的量程。对于某些用户,同一个产品有时可能会通不同的气体,这种情况下,直接使用氮气标定出厂的产品更方便。
产品出厂一般是按氮气标定﹑按氮气流量确定流量规格。用同一规格的MFC测量不同的气体,当流量检测值相同时,实际的流量值可能不同。我们在说明书中给出了不同气体相对于标定气体(氮气)的质量流量转换系数。
如果您使用的产品是标准出厂产品(按氮气标定显示),而需要知道实际使用气体的质量流量时,先在产品说明书中找到实际使用气体的转换系数。在测量过程中,以此系数乘以流量显示值即是实际使用气体的质量流量;反之,在确定所购产品的量程时,以实际使用气体的最大期望流量值除以转换系数,即是相应的氮气标定产品的流量值。
空气、O2﹑H2﹑CO﹑HCL、HF等气体,其转换系数约为1.0 , 一般可直接用按氮气标定显示的产品,不必换算。
个人认为所有厂家在进行气体设定或者优化是设定量与实际流量不一定完全一致,只是在某一特定设定值是能够比较好达到仪器要求,实际流量有可能有系数差。所以说应该没有哪个厂家的甲烷MFC与氦气MFC的货号不一致。但是需要强调的是流量控制一定要精准。
另外甲烷不是腐蚀性气体。
以上是度娘上的内容,可以参考下。示意图也只是抛砖引玉嘛,理论上哈,还不敢真改的。
http://baike.baidu.com/link?url=FxBrQr4Jw5S3p_L5T6gQKWsTARZWAcniwxxkC_fUFGxSG2q70xwQcTsGMm1G-0W70Ao30-hXzciVpK1D2SP34_