4800的上探头接受的绝大部分是SE,下探头接收相当一部分的BSE。使用上探头时,SE模式接收SE1和SE2,BSE(LV1~LV100)模式接收SE3。
基板这样的样品,样品间差异比较大,所以要具体问题具体分析。LZ不妨上照片,然后我们可以商量着改善条件~
gaominghen(gaominghen) 发表:首先感谢指正,是同一个地方,随便拍了2张,感觉只要2K就没认真,是我错了!经常会遇到这样的情况,一块基板上涨了很多小的颗粒,可能是颗粒形状问题,有颗粒的地方要比基板亮很多,通常这时候我会降低对比度,升高亮度,也会加BSE,降低电压等。有时候要求不加BSE,在不加BSE且不做任何处理的情况下。请问您还有别的好办法吗?谢谢!还有4800上的高低探头,我理解应该是它们接收二次电子的角度不同,而且它们所接收的应该不可能完全是2次电子吧?