没摸过FEI的机器,两种状态下的电压是什么情况?我们这里经常遇到氧化硅材料,我觉得能看清楚的原因就是减少荷电,3-5kV看氧化硅球荷电很严重,3kV以下就好很多,而且表面细节丰富。因为是分子筛材料,内部疏松,8kV以上直接打穿,也能减少荷电,但是小球都变得光溜溜的,象半透明一样,而且景深不够,所以小球都比较模糊。只有到15kV左右,景深够大,小球才变得比较清晰。
天黑请闭眼(shxie) 发表:但也不都是减少,氧化硅之类的导电性很差的就很好。看来我们要考虑延期验收FEI的仪器,让他们给个说法,哈哈哈。