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  • 小M

    第11楼2013/07/15

    应助达人

    那现在是怎么处理呢？换电路板？

    liuyy1976(liuyy1976) 发表:楼上老师说的是对的，听FEI工程师说，冷却水分了三路：TMP HR UHR，HR和UHR好像是冷却物镜中的线圈的，如果冷却水有问题，会使线圈的温度升高，线圈的电阻降低，电流增大，我们这次坏的电路板好像是控制其中一组线圈的。具体情况我们其实也搞不清楚，但是电路板上虽然没有冷却水，但是和冷却水还是有关系的。唉，头疼！

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  • liuyy1976

    第12楼2013/07/16

    嗯个，换了一块电路板，很贵的。没有办法！

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