philips5630
第13楼2006/10/03
tilt45度是为让你判断灯丝的高度,与Gun Alignment没关系.当然在调灯丝高度前,你首先要对中好灯丝,如何对中好灯丝下一段讲.调灯丝高度,在培训时,一般告诉你先将灯丝尖调到与栅极帽平行再调回0.2-0.3mm(也就是2-3大格,灯丝座上有刻度),但是一旦你的灯丝没有对中好,在灯丝升上来到与栅极帽平行时,可能已碰到栅极帽,那样就会损坏你的灯丝.所以,只要tilt45度灯丝座,刚好在栅极帽孔的边沿看到你的灯丝尖,你的灯丝高度就大约是0.25mm,对于FEI电镜来说灯丝高度一般就好了.在你调好高度后,建议你再确认下灯丝是否还对中,如果不对中,按下面方法再调整好.
至于Gun Alignment.首先你要在光学显微镜下对中好灯丝,判断是否灯丝对中好,方法如下:将等丝座转动360度,你在光学显微镜下看到的灯丝尖一直处于与栅极帽的圆心重合.如果不重合,松开3个对中螺丝进行调整.这叫灯丝机械对中(粗调).第二步,等真空好后,加高压,慢慢加灯丝电流直到欠饱和一点,看到灯丝像,用Gun tilt将灯丝像调到光晕的中心,再饱和灯丝, 用Gun tilt将光调到最亮; 再调Gun Shift使所有Soptsize的光斑都在中心.这也叫灯丝电子对中(微调).也就是你在PEO UI上的Gun Alignment
spinglass
第14楼2006/10/10
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philips5630,多谢你详尽的解释!