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  • tutm

    第11楼2013/09/21

    48毫托大约相当于6Pa，正常的旋片真空泵是能达到的。好的这种泵应该能达到1Pa以下。

    心随逸动(v2751344) 发表:分子涡轮泵不工作的话，真空度怎么会有48mTorr？

    要不你试下，打开DSQ II Tune软件，点Instrument--startup，手动启动分子涡轮泵

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  • 千层峰

    第12楼2013/09/21

    检查是否启动电容烧了。

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  • 悠旸

    第13楼2013/09/21

    分子泵控制器和直流电源也是值得怀疑的地方，不知道24V有没有加上

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  • 安平

    第14楼2013/09/21

    应助达人

    硬件问题可能性比较大。

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  • tyk000

    第15楼2013/09/22

    是的，确实属于接触不良

    ruan651209(ruan651209) 发表:前级真空48，基本不是漏气原因。

    估计问题大了，也可能就接触不良。

    能重启的都重启一试。

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  • ruan651209

    第16楼2013/09/22

    愿闻其祥

    tyk000(tyk000) 是的，确实属于接触不良

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  • ruan651209

    第17楼2013/09/22

    好象能到，因为分子泵减速下来，前级基本这个值附近。

    BUT，前级真空数百MTORR时，分子泵照理就该启动。

    tutm(tutm) 发表:48毫托大约相当于6Pa，正常的旋片真空泵是能达到的。好的这种泵应该能达到1Pa以下。

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  • 千层峰

    第18楼2013/09/23

    确认接触不良，那就把接触不良的地方修一下就是了。

    tyk000(tyk000) 发表: 是的，确实属于接触不良

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  • steven

    第19楼2013/09/23

    分子泵，只要叶片能转，没卡死，一般就是没有问题的。

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  • lostking2008

    第20楼2015/02/15

    怎么解决的最后？

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