看张大同书56页。不减小孔径光缆只调像散是不行的。

如何判断是聚焦没聚好还是像散没做好·？我的方法是：首先在高倍下5-10K选择有边角或者裂缝等边缘清晰的地方作为参考，聚焦后观察边缘的清晰度和锐度。如果边缘没有形变，说明像散比较好，只需要聚焦就可以了；反之就需要调像散再聚焦，不能单纯的只调像散或者只聚焦，两者要结合起来做，边做边调，时间长了就体会到了。

这个溅射仪挺不错，60s 15mA是正常条件，这个放大倍数，不会影响表面细节分辨。