hfang2005
第11楼2013/11/16
不是的啦, 5pa 或3pa 是前级的低真空度显示值(Pirani Gauge), SE不带高真空管(ion Guage), 所以离子源测的高真空度没有显示而已。 没有显示不等于没有高真空度。实际上SE的真空度也在3e-003~004pa,比Ultra肯定 是慢一点。因为分子泵大小差太大了。
SE和Ultra都是单泵啦, 但是
SE - 70L/sec
Ultra - 179/185L/sec 双级差动输出 (Daul stage differential)