sjh200496
第11楼2013/12/20
还有一种情况会导致前进样口流量关闭,大家可能一般不太注意,就是工作站设定的气体与实际气体不符。比如载气设定的是氮气,但是管路实际是氢气。由于气体性质的不同,EPC会算错误。导致流量无法达到要求,继而自动关闭。
zqy0797
第12楼2013/12/24
嗯,这个说的对