XRF是用来分析均匀材质里面的元素成分的，EDS主要用于杂质和缺陷的元素分析。XRF可以定量半定量最低检测下限可以达到ppm，EDS主要是半定量，普遍减量下线是0.1wt%。用途不一样。

EDX和XRF大体的功能上是一样的，就是拿来做元素成分分析。他们各有优缺点吧，EDX的话是配合SEM做的指向性更强的微区元素分析，可以针对性地区打某一个感兴趣的点，能量分辨率比较高，但是含量分辨率相对就比较低一些（0.1%的检出限）；而XRF没办法指向性地针对某一个位置或者某一个点进行扫描，另外光源直径也比较大，但是特点是它的含量检出限就非常高，目前都是能做到ppm级别的，元素越重，检出限越高，像C\N\O\F等，检出限略差一些，有些甚至没法检出。还有一个就是XRF对样品形态要求不是特别高吧，你有溶液样品也能测，但EDS就不行。所以，综合考虑吧，两者有交叉，但没法说是冲突的。