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  • sonne86400

    第21楼2014/01/17

    就是吹不干净 这个意思 敞开设计 要用氩气不停吹扫空气水分 这个过程是在循环的 室内的空气会进入 吹走的会被排出 你能保证 这个流动过程 ccd or cid 表面接触不到空气和水吗 第四代技术就不需要吹扫 干燥剂去除不了所有 去除不了所有 真空紫外区你就做不稳 做不准 不知道你还看明白了

    Eiki_z(v2678452) 发表:您说单靠吹扫是吹扫不干净的是什么意思啊？ 现在的主流厂商一般不都是单纯吹扫吗？ 水汽一般不是通过干燥剂过滤掉吗？

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  • beyond1977

    第22楼2014/01/20

    应助达人

    选一个紫外区波长，比如5ppm的S(181.97nm)，重复测量，强度稳定了，基本光室也置换干净了，我们瓦里安的机子，一般做样前提前半小时到一小时打开高吹

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  • 风住尘香

    第23楼2014/02/14

    应助达人

    这个是单道扫描型的，测不了190一下的

    Eiki_z(v2678452) 发表:啊！ 测试200nm以下的数据也稳定吗？

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  • 风住尘香

    第24楼2014/02/14

    应助达人

    分布式吹扫，是在光室内部分布一些管路，每隔5cm开一个小口，在开启吹扫气的时候，氩气或氮气从气路进入光室，光室内部，气体从这些小口吹出，这样可以保证整个光室的各个地方都在吹扫，节约吹扫的时间，间接的节约氩气。

    Eiki_z(v2678452) 发表:这个我知道，其实我想知道怎么进行吹扫才能高效、快速的吹扫干净，例如分布式吹扫方式是怎么样的

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