以下是几种泵的资料：
1．油扩散泵
优点：原则上可以抽任何不与泵油反应的气体，可长期连续使用而无需维护，便宜，因为无需特殊的控制系统。
缺点：使用液体，只能垂直安装，需要冷却水以及加热需要大量的能源，与真空系统结合处需使用液氮冷阱，防止返油。
2．分子泵
优点：方便，无需冷阱， 原则上可把系统直接从大气压抽至超高真空。但实际上由于费时太多，并且对泵体污染较大而采用两级抽气方式，首先使用吸附泵将系统由大气压抽至约10-4 mbar，然后启动分子泵。
缺点：抽速与被抽分子的分子量有关，分子量越大，抽速越高，分子量越小，抽速越低，所以持续操作后会残余氢气（或氦气）。有噪音，对工作环境影响大会产生振动，对一些振动敏感的检测手段（如STM）有很大的影响。
3．离子泵
优点 不使用液体；无需冷却水或液氮；可直接与真空系统相连 可以任意角度安装；无需预热；工作时体系与外界封闭。
缺点对真空要求高（优于10-6 mbar），否则钛板很快钝化失效对所抽气体有选择性，必须是与钛有反应的气体，对惰性气体无效。即使惰性气体暂时可以被掩埋，仍可能被轰击出来（记忆效应）溶解的氢或通过逆过程发生脱附，或与和钛结合的碳发生反应，会产生低质量数、气态的碳氢化合物，故离子泵中的主要残余气体为氢气和甲烷泵体笨重，由于需要强磁场，故需巨大的磁铁 需要数千电子伏特的高压，操作时存在危险。昂贵，需要特殊的控制系统。
4．升华泵
特点：辅助主泵，不可连续使用，在对真空要求高的实验中，可将真空进一步降低到～10-11 mbar数量级；便宜；体积小。

扩散泵比较便宜，几乎不出故障，不需要维护。
分子泵很贵，会出故障，但是维护也不是特别麻烦。
扩散泵有污染问题，但是对一般电镜应用也不是特别严重。至于真空度差不多。
对一般使用十几分钟也不是很大问题。
分子泵除了贵，还有有振动问题。

油扩散泵的污染确实是个问题。

那就勤快一些吧！