jack510070
第23楼2014/04/25
晶体管依靠PN结工作,PN结一旦击穿,就会产生不可恢复的损坏。而电子管是靠控制电子在真空中的运动来实现其功能的,其耐压值很高,并且电压过高后,也不会产生不可逆转的损坏。
ICP射频电源的负载是等离子体,等离子体的阻抗取决于其电离状态,工作气流的稳定、温度的波动以及注入样品的具体情况,都会影响等离子体的状态,导致其阻抗发生变化。虽然大多数ICP电源都会有自动阻抗匹配装置,但这个装置的反应总是有限快的,当阻抗不匹配时,将会有较大功率反射回去,使功率器件承受很大的过电压或者过电流。晶体管的承受能力较差,因此比较容易损坏。当然,有相应的方法防止这种情况发生,但相对于电子管ICP电源来说,晶体管电源的技术复杂程度无疑要高得多。