工程师拆过你的捕集阱,还有你拆洗过离子源。如果捕集阱螺母处或者离子源密封圈漏气,都很难检查出来的。
但如果只有轻微的漏气,调谐一般都能通过。仪器的真空度如何?你的氦气总流量和柱流量多大呢?
JokerCola(v2669685) 发表:斑竹求救~~
请问下,从我们的这个仪器调谐上看是不是就是漏气造成的,基本可以排除其他原因吗?
今天上午检查柱子两端密封性,又换了一下进样垫和o形密封圈,大约9点钟开机,刚刚进行了调谐,还是通不过。
我打算下午晚些时候再调谐看看,不行的话关机冷却,明天就全套密封系统齐刷刷全换。T.T