tang566
第52楼2014/10/29
总流量设置为5ml/min,不知压力控制器会不会波动。
第53楼2014/10/29
炉温在初始温度,其它温度不变,只是气体流量变。
千层峰
第54楼2014/10/29
待机的时候就不会波动,因为温度没变,总流量不变,压力也不变。做样中总流量少于10ml/min就不行。。。
第55楼2014/10/29
低于15ml/min时,总流量的压力控制不稳。
luos86
第56楼2014/10/29
[div]原文由jxyan发表: 不分流也试过,更省。[/div]待机用不分流不好吧,分流出口可能容易污染
花开见我
第57楼2014/10/29
今天特意看了下,确实可以改,但最低15.
symmacros
第58楼2014/10/29
分流出口保护一定的流量对分流管路有好处。
第59楼2014/10/29
请问开了载气节省吗?
第60楼2014/10/29
开了。如果不开,就要手动把分流比调低。
第61楼2014/10/29
如果开载气节省,最低流量应该是15。不开载气节省,总流量会更小些。