原天
第11楼2014/10/29
5973和5975构造是一样的,主要是EM和离子源的材料不同而已。打开盖子是看不到的,得关机打开侧板才会看到的,稍微露1MM就好。
X战警
第12楼2014/10/29
5973和5975是不是一个系列的产品,这个系列还有没有其它的型号?备件能否互换通用?
symmacros
第13楼2014/10/29
可能少部分备件是可以通用的,但很少。
第14楼2014/10/29
是个套管类似的玩意。
第15楼2014/10/29
陶瓷片太短,不够量。
第16楼2014/10/29
5973的说明书上面有安装方法,楼主可以看一下。
第17楼2014/10/29
发个照片?让大家瞧瞧?
tang566
第18楼2014/10/30
我们是手伸到真空腔内量朱老师是怎么操作的?
第19楼2014/10/30
我也是伸到真空腔,看到露出了就行。我们别的部门有台5973,有专用工具来安装,也可以用尺子量后上螺丝。
第20楼2014/10/30
经常量,可以凭感觉走,觉得差不多也可以。