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  • lostking2008

    第11楼2015/03/04

    看来我估算的是至少可以得到的真空度了。

    ruan651209(ruan651209) 发表:也感觉不应该这么算。
    公式中是指定压力下的抽速,是不是760不能直接引用。

    200抽速的泵,不开碰撞气,不干活,几天后能到E-7乇真空。

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  • Dreedom

    第12楼2015/03/04

    至少有这么两个问题吧,
    1. 用的公式不对(不知道你根据什么算的)。
    要计算真空度,纯粹的手算是不现实的,不过你至少要知道流导公式,以及不同腔体及真空界面在不同真空区间的流导计算方法,这些可以帮助粗略估算;
    2. 分析器所在腔体也不是直接接到大气的,至少经过了一次机械泵的粗抽,通常还有一级分子泵的预抽,不然怎么可能直接从大气压抽到高真空呢,所以也不能用一个公式就从头就算到尾了。

    设计真空系统的时候,通常是先理论上靠经验公式估算一下各级真空腔体的气压,然后通过实验数据调整真空界面的设计等影响流导的因素,再不行就只能换大泵抽了。

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  • ruan651209

    第13楼2015/03/04

    反正外行,俺那流导公式楞没看明白。

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  • lostking2008

    第14楼2015/03/04

    说的在理,学习了。
    我的估算是考虑理想情况下(没有泄漏和outgassing),腔体唯一的gas load是载气引起的。

    Dreedom(v2645783) 发表:至少有这么两个问题吧,
    1. 用的公式不对(不知道你根据什么算的)。
    要计算真空度,纯粹的手算是不现实的,不过你至少要知道流导公式,以及不同腔体及真空界面在不同真空区间的流导计算方法,这些可以帮助粗略估算;
    2. 分析器所在腔体也不是直接接到大气的,至少经过了一次机械泵的粗抽,通常还有一级分子泵的预抽,不然怎么可能直接从大气压抽到高真空呢,所以也不能用一个公式就从头就算到尾了。

    设计真空系统的时候,通常是先理论上靠经验公式估算一下各级真空腔体的气压,然后通过实验数据调整真空界面的设计等影响流导的因素,再不行就只能换大泵抽了。

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