说的在理,学习了。
我的估算是考虑理想情况下(没有泄漏和outgassing),腔体唯一的gas load是载气引起的。
Dreedom(v2645783) 发表:至少有这么两个问题吧,
1. 用的公式不对(不知道你根据什么算的)。
要计算真空度,纯粹的手算是不现实的,不过你至少要知道流导公式,以及不同腔体及真空界面在不同真空区间的流导计算方法,这些可以帮助粗略估算;
2. 分析器所在腔体也不是直接接到大气的,至少经过了一次机械泵的粗抽,通常还有一级分子泵的预抽,不然怎么可能直接从大气压抽到高真空呢,所以也不能用一个公式就从头就算到尾了。
设计真空系统的时候,通常是先理论上靠经验公式估算一下各级真空腔体的气压,然后通过实验数据调整真空界面的设计等影响流导的因素,再不行就只能换大泵抽了。