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  • miaoaiwen

    第11楼2017/08/02

    请教下这个RF功率是如何影响等离子体温度的？为何提高功率其温度提高？

    风住尘香(v2714039) 发表:等离子体的温度还是由RF电源的功率，冷却气来决定的，房间的温度这些影响的是仪器的稳定性，对等离子体的温度几乎没有影响。

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  • JOE HUI

    第12楼2017/08/03

    应助达人

    RF功率管的作用是维持等离子体的，线圈耦合需要RF功率管提供能量 ，一般功率管功率从0.9KW-2.0KW不等，RF功率管早期的类似VARIAN设计是放在一个工作室里面，RF功率管表面发红，RF工作的时候也是需要放热的，放热温度肯定 提高，VARIAN的设计是通过风冷对RF功率管降温的！

    miaoaiwen(miaoaiwen) 发表: 请教下这个RF功率是如何影响等离子体温度的？为何提高功率其温度提高？

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  • deer

    第13楼2017/08/04

    等离子体的什么温度?是光室温度，还是ClD?

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  • JOE HUI

    第14楼2017/08/04

    应助达人

    不同火焰区的温度变化情况！

    deer(lujun710711) 发表:等离子体的什么温度?是光室温度，还是ClD?

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