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  • sallysally

    第11楼2015/04/25

    看到安杰伦的仪器现在扩散泵还是可选件，无语了。

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  • 依风1986

    第12楼2015/04/25

    应助达人

    是的 ，這個是有風險的，如果到真空腔的話危害就大了

    tang566(tang566) 发表: 扩散泵有返油风险

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  • 依风1986

    第13楼2015/04/25

    应助达人

    symmacros(jimzhu) 发表:
    感謝老師提供的資料，學習了，所謂兩級真空機就是機械泵和分子泵吧！

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  • 依风1986

    第14楼2015/04/25

    应助达人

    分子泵容易壞嗎？

    symmacros(jimzhu) 发表:前级泵-机械泵（旋转泵，极限真空10-2 - 10-4torr)

    高真空-油扩散泵、分子涡轮泵（极限真空10-5 - 10-10torr)

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  • 依风1986

    第15楼2015/04/25

    应助达人

    那什麼時候通大氣，比如非常漏氣的時候？

    ruan651209(ruan651209) 发表:分子泵开始工作时，前级真空约为数百到千把毫乇，T家。

    分子泵的极限压力是：超短时间直通大气（就是泵叶片变形严重，但还没有断裂或碰撞到相邻定片的极限）。

    长时间通大气肯定毁了，过限了。

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  • 依风1986

    第16楼2015/04/25

    应助达人

    估計主要考慮不同消費群體

    sallysally(sallysally) 发表:看到安杰伦的仪器现在扩散泵还是可选件，无语了。

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  • symmacros

    第17楼2015/04/25

    应助达人

    是的，一般指机械泵和分子泵（包括扩散泵）两级。

    依风1986(xurunjiao5339) 发表:

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  • symmacros

    第18楼2015/04/25

    应助达人

    现在用扩散泵的仪器确实很少了。

    sallysally(sallysally) 发表:看到安杰伦的仪器现在扩散泵还是可选件，无语了。

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  • symmacros

    第19楼2015/04/25

    应助达人

    难讲，有的泵用7年8年10年都无问题，有的泵几年就坏了。

    依风1986(xurunjiao5339) 发表: 分子泵容易壞嗎？

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  • 分子泵维修专家

    第20楼2015/07/21

    分子泵，扩散泵都是高真空获取设备，一些工艺目前还是在使用扩散泵的，扩散泵维护保养容易，分子泵可以提供洁净的高真空环境，都是，分子泵的轴承寿命有限，需要定期更换，维护保养成本较高，这二种泵都是可以在10帕左右就可以工作了，分子泵的极限真空或者他的可以达到的极限真空是1E10-7TORR请大家注意不要被不是专业的人给忽悠了，要达到1E10-10torr需要配合离子泵才可以达到

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