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  • zenix

    第24楼2006/10/30

    有个问题

    SEM有电荷聚集的问题，通过蒸金等手段可以将多余的电荷导走。
    SIM对于类似的情况怎么解决？
    离子和电子还是不同的，对样品表面会不会有破坏，会不会有玷污？

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  • 共工

    第25楼2006/10/30

    相信以上的帖子已经回答了您大部分的问题，产品已经商用，成本不详。

    chenjianfeng 发表:晕，还请楼主多做点科普，
    这东东用什么做光源？如果用离子做光源，那么采集的是离子二次电子吗？离子光源会有对样品的损伤吗？
    用什么聚焦？能达到什么样的分辨率？束流能达到多大？与FIB有什么样的区别？
    同聚焦电子束相比有什么优点？分辨率高？成本低？信息多？为什么会取代EM？
    目前研究进展如何？什么时候有望见到相关的商品？市场预计如何？
    目前的很多EM分析附件是否继续可用？亦或需要新的附件？各厂商会去开发还是会去与之竞争抵制？
    有没有相关的资料？
    问题太多，不好意思ING。不过的确很想知道。

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  • 共工

    第26楼2006/10/30

    精确的测量需要很高的成分反差去完成，电镜的成分反差不足以达到这个标准，即使是离子镜中的二次电子像也不能满足这个要求，请看下面的离子镜中的二次电子像，测量边缘较模糊，样本是硅片。

    再看离子镜中的背散射离子像，边缘极度清晰，测量也就精确得多。

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  • 共工

    第27楼2006/10/31

    扫描离子显微镜 可以同时观测 电子信号和离子信号， 由于 离子发射源的超高亮度，还有离子束的低衍射性能， 电子光路的色差大有降低。

    chenjianfeng 发表:??放大倍数？加速电压？
    检测的是什么信号？
    色差怎么样？
    问题多多，非常想知道。

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  • 共工

    第28楼2006/10/31

    再上传一组对比图片，第一张是电镜中的二次电子像，样本是半导体芯片，有形貌但成分信息很有限。

    再看离子镜中的二次电子像，形貌信息加上强烈的成分信息同时尽显无遗。

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  • 共工

    第29楼2006/10/31

    这张是离子镜中的二次电子像， 样本是铝制测试样本，质量极佳。

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  • 共工

    第30楼2006/10/31

    离子镜的背散射离子像景深 比电镜的二次电子像好上五倍左右， 即使对非导电样本也不会发生充电现象。
    样本是一坚果果壳。

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  • 共工

    第31楼2006/10/31

    同一样本，坚果果壳，无须任何样本制备，背散射离子像。

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  • yqxx2006

    第32楼2006/11/01

    A comment:
    Secondary ion mass spectrometry (SIMS) is usually hooked up with time-of-flight (TOF). It is very powerful. But the resolution is very limited so far (about um).

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  • 天黑请闭眼

    第33楼2006/11/01

    这两张是不是弄反了？
    我想问一下：离子束的成分是什么呢？惰性气体吗？离子化之后会不会和样本发生化学反应呢？另外，相关的好处您提到的是背散射离子成分像，那么分辨率如何呢？高倍率照片有吗？

    renxin 发表:精确的测量需要很高的成分反差去完成，电镜的成分反差不足以达到这个标准，即使是离子镜中的二次电子像也不能满足这个要求，请看下面的离子镜中的二次电子像，测量边缘较模糊，样本是硅片。

    再看离子镜中的背散射离子像，边缘极度清晰，测量也就精确得多。

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  • 精
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