楼上的兄弟，十分感谢！
我在INCA帮助里面已经找到了，Si，Ni，Mn，在20KV不倾斜的调节的条件下，作用的深度越来越浅。

对不住，应该是Si,Ni，Mo，笔误。
另外我觉得倾斜对于梨形体积好像影响不大啊。不知道对不对。倾斜相对不倾斜来讲二次电子的产额倒是高了。

由于我用的EDS最佳加速电压是20KV,所以我只注意了20KV时上述三种元素的电子束与样品作用体积。不过5KV的时候反而是Si的作用体积最大，这应该和院子序数有关系。

把二次电子像采集过来后，如果是牛津的能谱，在Image上点右键，选择电子作用区，就会出来一个圈圈，告诉你扩散的区域可能有多大。