青春145
第11楼2018/10/01
您说的EPC是位于哪里呢,是指载气接入GC那里的接口吗
dadgoh
第12楼2018/10/01
你是啥型号仪器
第13楼2018/10/01
对,打开上盖能看到
Insm_a1a35a71
第14楼2018/10/01
把模块载气进与分流进口和隔垫清洗进口短接起来,用压恒压模式,或者横流模式,然后在检测分流出口的流量是否正确,不正确,可能分流的比例阀有问题,失控了
kkroyhqu
第15楼2018/10/02
这个现象是epc坏了(开机分流出口死命出气),我们能修qq99932319
第16楼2018/10/02
7280 分流进样口 essl G4352-60552,这个东西坏了
第17楼2018/10/05
安捷伦7890B
tailor
第18楼2018/10/07
EPC的控制阀故障