千层峰
第11楼2015/09/10
以前还试过这个参数啊。。感觉像是压力太低,EPC有点控制不了。。
居间惠
第12楼2015/09/11
我在学校的实验室7890A-7000的气质也是这种问题,分流比不能设置1:1,不然运行的过程中就会报错。
symmacros
第13楼2015/09/11
可能EPC有点问题,这几天忙,还没有顾上检查。