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  • 〇rbitrap

    第11楼2015/09/25

    应助达人

    1.灯丝燃尽 2.相关线路有灰尘导致接触不良，需擦拭 3.线路板出现问题。可以用替换法排除

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  • SidLee

    第12楼2015/09/30

    前几天遇见了次，洗完离子源装好抽真空灯丝不亮没发射电流，灯丝装的时候还是好的，放空完拆开一看灯丝是好的，重新装了下拧拧螺丝就好了，很莫名

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  • cydasiasilicon

    第13楼2015/09/30

    控制好设备温度 主要MS室 保证正空度 再一个MS温度不要低于100摄氏度以下 用2年没问题，我们还主要做腐蚀性气体 氯化氢 氯硅烷等。

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  • cydasiasilicon

    第14楼2015/09/30

    肯定是接触问题。

    SidLee(v2697000) 发表:前几天遇见了次，洗完离子源装好抽真空灯丝不亮没发射电流，灯丝装的时候还是好的，放空完拆开一看灯丝是好的，重新装了下拧拧螺丝就好了，很莫名

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  • 千层峰

    第15楼2015/10/06

    一年多点就坏，有点快啊。。。

    m3031334(m3031334) 发表: 用了有一年多一点

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