FEI的好长时间不用了，不记得具体的按钮了，不过楼主可以通过以下来判断

1、先在获得一个一般的选区电子衍射，然后插入物镜光阑，调节衍射模式下的focus（忘了FEI是什么了，JEOL的是diff focus），是光阑孔在荧光屏最清楚即可，中间镜的焦距是调好了
2、然后在TEM模式下散开光斑，在做选区电子衍射，使得衍射长度最大，观察透射斑点是不是圆的，如果不是就要跳中间镜象散，可以直接调或者在无样品的空洞区域做衍射调节会更加方便的
3、如果以上还行的话，试试衍射模式下联动比（一般不影响中间镜的象散），或者load一下之前的合轴ok的数据，然后再试试