机械泵会自动停？看来，那也许就造成这个现象的原因是机械泵抽空能力不足，导致RT真空差进，而引起照相室真空慢慢变差。电子枪、镜筒部分是离子泵单独工作的，所以短时间内尚未受到影响。可先找到电源柜上对应机械泵的电源，量量供电电压（好像是110伏）是否正常，如果正常的话，就可能是机械泵的问题了。以上只是个人猜测，最好联系日本电子售后吧。