能谱仪的计数率与下列因素有关：
1、加速电压。一般做金属样品可选择在20kV左右。
2、探针电流。一般样品可选100～300pA（指达到样品上的电流）。
3、工作距离。做能谱分析时，工作距离应保持在特定的分析工作距离，不能偏差太大，电镜都会给出这个参数。
4、能谱探头距样品的距离。这个距离越近，计数率越高。
5、样品倾斜角。样品分析点的平面应为水平状态或向能谱仪探头方向倾斜，否则计数率会下降，特别是高低不平的样品不能对分析点有遮挡。
在此条件下，计数率应为1000cps以上。一般分析计数率在1000～2000cps为宜。
