气质肯定会上UPS的，我们用的气相也用UPS，断了几次电都无损害。

影响是会有的，最大的影响是分子泵。偶尔一次也不一定会中彩（坏了）。上面老师已经做了提醒。
装个UPS，如果再搞个远程控制就更好了，我装了，可以在有网络的地方控制设备进行泄真空。

楼上的方法是个好办法。