柱头，进样口 等等

不关机后动离子源的操作，不拧放空阀 再次开机抽真空能节约点时间

我觉得主要应该是在柱接口的地方，这里平时都是维持在280度左右的高温，关机后温度下降，不同材质热胀冷缩率不同会导致出现缝隙。