zengzhengce163
第11楼2017/06/18
气密性
nanjingcpu
第12楼2017/06/21
机械泵、真空阀
迷途小输童
第13楼2017/06/22
开机前 先检查侧板的o型圈,要按紧侧板开机等转速上去
lcgo
第14楼2017/07/10
学习了,以后遇到这问题就按照这些步骤来解决。
SidLee
第15楼2017/07/10
涡轮泵一点都没转啊 前级泵运行了么 放空阀拧紧了么 侧板推好了么 估计就这三个问题 其他小规模漏气起码分子泵会转起来
有雨的夜
第16楼2017/07/10
漏的太多了,都没抽上去。先检查一下机械泵,侧板,放空阀,传输线那柱子接的怎么样。如果开机后,过了一段时间还没有抽上去,机械泵就自动关闭了