有一个方式是用GD-OES打一下，可以得到从外到里各层分布含量曲线，从曲线来间接判断涂层分布形态。这种方法不需要对样品做剖面，只需切个1平方厘米左右的样就可以。

10楼正解，此样品用氩离子抛光仪做再合适不过

这样处理的精度不够吧，毕竟有机膜只有50nm厚度。
可以试试氩离子抛光。但是不直到这薄膜能不能经受离子束轰击不变形。