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  • JOE HUI

    第11楼2017/08/12

    应助达人

    5110是MFC控制气体流量吗？

    abcpgf(abcpgf) 发表: 很有这种可能的。

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  • drykkk

    第12楼2017/08/12

    炬管烧融除了气流问题还有一种可能是RF线圈变形

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  • abcpgf

    第13楼2017/08/12

    应助达人

    仪器说明书没有看到，得问问工程师。

    JOE HUI(xurunjiao5339) 发表: 5110是MFC控制气体流量吗？

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  • abcpgf

    第14楼2017/08/12

    应助达人

    看了，RF线圈没有变形。

    drykkk(drykkk) 发表:炬管烧融除了气流问题还有一种可能是RF线圈变形

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  • JOE HUI

    第15楼2017/08/12

    应助达人

    相信你同事装的时候应该不会炬管和线圈有接触吧？

    abcpgf(abcpgf) 发表: 看了，RF线圈没有变形。

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  • abcpgf

    第16楼2017/08/12

    应助达人

    这个没有，我检查过，感觉还是辅助气的问题。

    JOE HUI(xurunjiao5339) 发表: 相信你同事装的时候应该不会炬管和线圈有接触吧？

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  • ak47-ms

    第17楼2017/08/15

    这个矩管是我们后来拍照放低了，安装的时候没有问题，是一体式的矩管，直接捅到不能上去卡住就好了，这个位置不存在什么问题的。

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  • 浮生十年

    第18楼2017/08/16

    首先检查炬管是否安装正确，然后检查氩气流量是否满足要求。

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  • abcpgf

    第19楼2017/08/17

    应助达人

    检查了，都没有问题。

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  • lbrt

    第20楼2017/08/17

    看看射频线圈与炬管同心吗？或气体流量或点火线圈的中心偏差太大造成的。

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