cxyatxy
第11楼2017/10/18
有可能涡轮泵的原因,我以前公司换过一次涡轮泵,还有签了保修合同。
有雨的夜
第12楼2017/10/18
这个具体是哪个部件没加热呢?卸真空的前前级泵和涡轮泵都是正常工作的吗?
未来工程师
第13楼2017/10/18
问题已经找到了,是漏气问题。位置是真空通道,打开侧板,发现上面螺丝松弛。
PAEs
第14楼2017/10/23
漏气也是影响仪器加热的