JOE HUI
第11楼2017/11/04
我们首先做的只能是自我排查,看是否是这方面原因,我们的一款VARIAN730今年5月中下旬也是频繁熄火,点着然后就熄火,也报错,我们按照报错信息去自己检查,比如通讯接口是否松动(可能有灰尘),气体流量是否不足(气源的气压,气体管路是否连接破损),电压是否不稳定等等,考虑到设备使用7年,我们的功率一直设置在1200W,也知道功率管可能老化,由于着急处理样品,本着死马当活马医,将功率管尝试改变下,比如提高到1300w,(我们也在仪器软件的工作界面进入了诊断模式,对功率管不同功率演示下,看是否熄火,比如从1.3KW-1.4KW-1.5KW..-2.0KW),都不在熄火,但是高功率下肯定不行,所以应急的情况下就是调大到1.3kw,还好应急了一个多星期,后面工程师过来处理最终还是换个RF功率管
所以虽然最终问题是在RF功率管,但是我们可以排除法,可能暂时缓和下能让设备运行起来,是治标不治本的处理方式!