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  • kingroc

    第11楼2006/12/25

    非常感谢你的资料

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  • JetY

    第12楼2006/12/26

    建议用辉光放电质谱分析杂质。

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  • qian

    第13楼2006/12/26

    用辉光放电做应该可以吧

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  • 萧文

    第14楼2006/12/27

    问题：供应商怎么证明他们提供的是9个9的Si？？用ICP－OES？？！！

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  • wanggongyuan

    第15楼2007/02/06

    我单位也要像上面楼主哪样检测硅中的杂质，有相关的资料也分享一下啊。

    harly 发表:谢谢诸位的捧场！
    不好意思，没有说明白。我目前需要的是检测硅中的杂质，如B，P，AL，FE，TI等5-20项杂质（根据需要调整检测杂质的项目）。关于SGS，我咨询时说是在国内做不了这么高纯度的分析。而我还找到过国内的大学FD，研究机构等有ICP的单位或是不会做，或是乱做一通，或是不敢做。更多的是找不到检测方法，可怜多少国家的银子啊！！！

    寻求各位大虾的支持！！！

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  • bing521

    第16楼2007/02/06

    请问你打算测什么杂质元素，我很感兴趣！

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  • 风之灵

    第17楼2007/02/06

    象你这种情况现在国内不是没有能做的，很多生产单晶硅或者多晶硅的单位都是自己检测的。

    他们一般的仪器配置是ICP-OES + ICP-MS，纯度低的用光谱，纯度高的用质谱。你可以跟你们同行咨询一下，不过别人可能不愿意帮你们做，或者你们不愿意让他们做，基于企业技术秘密。

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  • 投

    第18楼2007/02/06

    用ICPMS可以做一部分，只是有些元素会比较麻烦

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  • nps

    第19楼2007/02/06

    国内生产多晶硅的厂家都是可以做的，4N到6N的用ICP-OES没有问题，9N的就需要使用ICP-MS，国内的多晶硅的厂家多是这种配置。

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  • bingerfchaaa

    第20楼2007/02/08

    按这样的纯度，只能做成切片，一个原子一个原子去数了，这样是成本最低的。也许愿意做的人会多点

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