用XRF测试

高纯金属推荐用GDMS分析
用ICP的话，感觉高分辨ICP-MS质谱做硅会好些。

GDMS国内才多少啊，也就一两台吧。不是每个单位都用得起的。ICPMS保证环境，试剂，摸好了方法，做还是没有问题的。

做高纯杂质分析，小心仪器背景污染。

仪器背景噪声还是比较小的吧，我觉的环境和试剂才是最主要的因素。 再补一句，如果介质是硝酸，会有NO 和N2的干扰，考虑碰撞池。

原子吸收AAS或者ICP－AES

我前面说的就是用碰撞池做的结果。是不是对氢氦气的比例还有要求？

气流当然会有个最佳比，不同的样品，不同的仪器，甚至不同开机时间，比例都可能会有所差别。调节气流，使其达到最佳状态。首先把条件摸好，再做样品。 没用过碰撞池，不知道CCT的效果如何。