磨剪子嘞 锵菜刀
第14楼2018/07/03
电子光学模式设置为resolution mode,Spotsize设置在200左右,或者probecurrent 设置在100pa左右。电压设置在15-25kv,工作距离调整到10mm左右。
场发射电镜调整extractor电压,将emission current(uA)调整到200-300亮度(注意这个是亮度密度,不是发射电流值)。
检查Source image(灯丝像)是否居中。
1000-2000倍调焦,亮度对比度,检查aperture alignment (Wobble)。
聚焦,消像散,放大,重复此步骤(可以使用auto功能)
还有哪里不清楚了可以继续问我