+关注 私聊

  • 庄子的猫

    第21楼2018/09/20

    Fe是coolNH3,Ca是coolNH3和H2都试过。
    Ca20-100ppt标曲做不出。100-500ppt标曲0.995。Fe的话标曲两个浓度都不行，曲线呈上升趋势，但不呈线性，我怀疑水解了。。

    HD800(v3132510) 发表:楼上那位根本就不是做半导体的，或者根本没接触过半导体。你做不到1PPT，不代表别人也做不到8900的检出限很低，但细节影响非常大。Ca、Fe这两个测不低，考虑下Cool H2或者Cool NH3。楼主做不低，检查下BEC能达到多少，再考虑从干扰还是污染角度解决。另外，ppt和亚ppt浓度的测试，不加酸确实会有所影响。

0
    +关注 私聊

  • 庄子的猫

    第22楼2018/09/20

    管制，没法贴图

    HD800(v3132510) 发表:另外，把你做的标曲贴出来看看

0
    +关注 私聊

  • timstoicpms

    第23楼2018/09/21

    建议你使用 0.1ppb 调谐液；
    标配的 1ppb 浓度调谐液对半导体测试而言，容易引发残留。

    庄子的猫(Ins_4ee07def) 发表:1ppb调谐液，7是3万多计数，89是20万计数，205是8万计数。

0
    +关注 私聊

  • hsu3111

    第24楼2018/09/21

    現行的ICP-MS可以達到PPQ LEVEL 的測試了
    只要你符合
    1.你的無塵實驗室等級達到CLASS100
    2.你的ICP-MS背景值控制得很好
    3.你的UPW 品質很好，有達到PPT的水平
    4.你的分析器材有效處裡到達到PPT以下的水平
    5.你的儀器操作與添加標準品的手法夠低
    我就是從50PPQ開始拉線性的，要試過才知，不要先入為主，說做不到就放棄

1
0
    +关注 私聊

  • deer

    第26楼2018/09/22

    测超纯水，标曲怎么保证质量呢

0
    +关注 私聊

  • 光哥

    第27楼2018/09/22

    应助工程师

    半导体的QC和其他领域的QC有非常大的不同
    简单地说，例如我测试的超纯水是1ppt以下的。那么我这次测试的结果是0.1ppt，下次测的结果是0.6ppt。可能在其他领域来说，这两个结果完全不符合QC，但它们都是小于1ppt，所以是符合要求的。

    deer(lujun710711) 发表:测超纯水，标曲怎么保证质量呢

0
    +关注 私聊

  • aileen001

    第28楼2018/09/23

    看你是测定纯水中的什么物质，如果是灵敏度高的元素，可以配置浓度很低，所以配置标准溶液的那几个点，主要还是看仪器的性噪比！

0
    +关注 私聊

  • 仪器精英

    第29楼2018/12/14

    确实部分是有点问题的，但是对于新手来说还是很有指导意义的！

0