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  • 荆棘鸟

    第11楼2018/12/10

    应助达人

    仪器是在做样过程中报错还是通电没多久就报错？检查前级泵，看看泵油，分子泵听听有无异响，如果没有，重启一下。

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  • AnFn丶

    第12楼2018/12/10

    仪器故障了

    GRANT(fatinsect) 发表:分子泵有异响吗？洁面能看到分子泵的电流转速温度信息吗？

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  • AnFn丶

    第13楼2018/12/10

    仪器故障了 已经通知相关工程师

    風痕(yiwang520) 发表:有没有分子泵的泵速？是开启就报错，还是真空抽到一定程度后报错？

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  • AnFn丶

    第14楼2018/12/10

    感谢各位师傅的帮助。是仪器故障了。已经通知了相关的工程师

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  • lijing320323

    第15楼2018/12/10

    没有完全抽真空

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