有50多个纳米厚,用场发射SEM在低加速电压(0.5KV,1.0KV,甚至2KV做都不会有问题.请看我做的3纳米厚的碳(类金刚石)膜的SEM照片.漏白的部分是碳膜被磨掉了漏出了底层,黑色的部分是没磨掉的膜(3nm厚),如果象老兄说的要穿透的话,那整个面都是白色的底层.
所以不必担心50纳米会被穿透.
zxr1231981 发表:各位大侠,我是新来的,我做的是薄膜,厚度为:50多个纳米,请问,扫描电镜发射的电子束会不会穿透薄膜,打到基片上去啊?从而,显示的是基片自身的信息?请求各位不吝赐教。谢谢了