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  • 光哥

    第11楼2019/02/26

    应助工程师

    不一定需要无尘室的,还得看具体的情况。正常的无尘室,需要24小时运转,运行成本很高。南方要除湿,北方要供暖,成本更高

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  • 00云之巅00

    第12楼2019/09/17

    半导体行业确实对这些K,Ca,Na,Fe,Li,要求确实高,一般测Na元素有没有啥心得啊?,我们做的Na就是会无缘无故的变高,最后只能不断清洗,但感觉治标不治本.

    huangza(huangza) 发表:高纯行业测钠需要洁净区要求,一般行业单独房间能控制温湿度即可

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  • 光哥

    第13楼2019/09/18

    应助工程师

    说下你的样品、用的酸、水、器皿和环境?还有仪器以及所使用的模式(反应/冷模式/KED?)

    00云之巅00(v3147234) 发表: 半导体行业确实对这些K,Ca,Na,Fe,Li,要求确实高,一般测Na元素有没有啥心得啊?,我们做的Na就是会无缘无故的变高,最后只能不断清洗,但感觉治标不治本.

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  • 00云之巅00

    第14楼2019/09/18

    样品半导体用HF,测样时用7%的硝酸加一点,UPW,环境无尘室,有自己的autosampler,用530W冷焰,

    光哥(xsh1234567) 发表: 说下你的样品、用的酸、水、器皿和环境?还有仪器以及所使用的模式(反应/冷模式/KED?)

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  • 光哥

    第15楼2019/09/18

    应助工程师

    如果同一瓶DIW或者稀硝酸的23,持续升高,那么考虑下环境的因素,无尘室的过滤网是不是蛮久没换了?
    另外一个可能的问题感觉会来自自动进样器的管路,反正以前我测K、Na、Ca、Fe这些,都不用自动进样器的
    机器是T的X2?要是A的话,530w功率觉得有点低

    00云之巅00(v3147234) 发表: 样品半导体用HF,测样时用7%的硝酸加一点,UPW,环境无尘室,有自己的autosampler,用530W冷焰,

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  • 00云之巅00

    第16楼2019/09/18

    设备的气路、样品路都是封闭的啊,氩气,He气高纯度,不知道环境会影响哪个因素?我们环境是fab,环境因素应该不会有啥问题,仪器是T的q,还有就是要去除管路中的这些K,Ca,Na,Fe,有没有最有效的清洗剂,硝酸?

    光哥(xsh1234567) 发表: 如果同一瓶DIW或者稀硝酸的23,持续升高,那么考虑下环境的因素,无尘室的过滤网是不是蛮久没换了?
    另外一个可能的问题感觉会来自自动进样器的管路,反正以前我测K、Na、Ca、Fe这些,都不用自动进样器的
    机器是T的X2?要是A的话,530w功率觉得有点低

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  • 光哥

    第17楼2019/09/18

    应助工程师

    如果怀疑是管路种的残留,最快的方案我个人觉得是把这些管路拆了清洗,接在蠕动泵上用高纯稀硝酸泵洗再放到DIW水龙头下冲
    T的仪器,问问他们的工程师啊
    我个人看法,不是很可能是管路的问题,IA、IIA这几个元素,还是比较容易清洗下来的

    00云之巅00(v3147234) 发表: 设备的气路、样品路都是封闭的啊,氩气,He气高纯度,不知道环境会影响哪个因素?我们环境是fab,环境因素应该不会有啥问题,仪器是T的q,还有就是要去除管路中的这些K,Ca,Na,Fe,有没有最有效的清洗剂,硝酸?

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  • 00云之巅00

    第18楼2019/09/18

    嗯嗯

    光哥(xsh1234567) 发表: 如果怀疑是管路种的残留,最快的方案我个人觉得是把这些管路拆了清洗,接在蠕动泵上用高纯稀硝酸泵洗再放到DIW水龙头下冲
    T的仪器,问问他们的工程师啊
    我个人看法,不是很可能是管路的问题,IA、IIA这几个元素,还是比较容易清洗下来的

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  • nphfm200719761

    第19楼2019/09/19

    好的

    光哥(xsh1234567)发表: 如果怀疑是管路种的残留,最快的方案我个人觉得是把这些管路拆了清洗,接在蠕动泵上用高纯稀硝酸泵洗再放到DIW水龙头下冲
    T的仪器,问问他们的工程师啊
    我个人看法,不是很可能是管路的问题,IA、IIA这几个元素,还是比较容易清洗下来的

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