Frostmoure
第11楼2019/03/30
看下真空度,没达标你看下机械泵开没开,机械泵没开分子泵不工作的,如果前级真空达标真空泵还没开估计是真空泵损坏或者线路有问题
symmacros
第12楼2019/03/30
5973已经比较老了得仪器,使用要小心注意。先检查真空情况。