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  • JOE HUI

    第11楼2019/11/22

    应助达人

    看调谐报告是漏气，按照我的提示去查找下漏气地方

    Insm_402eadc6(Insm_402eadc6) 发表:这是抽了一晚上真空，今早调谐的

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  • Insm_402eadc6

    第12楼2019/11/22

    好的，谢谢老师

    JOE HUI(xurunjiao5339) 发表:看调谐报告是漏气，按照我的提示去查找下漏气地方

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  • 通标小菜鸟

    第13楼2019/11/22

    应助达人

    刚换完柱子需要让分子涡轮泵至少抽4个小时后再调谐，调谐一直不过的话可能有微漏，放空后检查真空腔密封圈是否安装到位，各个连接处拧紧后再开机抽真空

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  • myoldid

    第14楼2019/11/22

    应助达人

    你这个确实就是微漏，检查下隔垫，O圈吧，另外也可以把分流比开到300，关闭载气节省吹半小时

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  • WUYUWUQIU

    第15楼2019/11/22

    应助达人

    进气口放气30秒，一般能降低，但是要首先排除有没有漏气，看看进样口有没有漏气，比如石墨垫有没有拧紧

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  • tang566

    第16楼2019/11/22

    应助达人

    从调谐报告上看，是有漏气的，需要查找漏气源，用丙酮查一下漏，先从气质连接口处开始查。

    Insm_402eadc6(Insm_402eadc6) 发表:这是抽了一晚上真空，今早调谐的

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  • 杰8521

    第17楼2019/11/22

    应助达人

    看一下衬管什么的啊

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  • 深蓝

    第18楼2019/11/22

    应助达人

    进样口和接口都升温后再抽会儿真空试试看

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  • 安平

    第19楼2019/11/23

    应助达人

    换回原来柱子确认一下

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  • p3311426

    第20楼2019/11/25

    上周我也是你这种情况 ，微漏，侧板打开 用沾甲醇的棉签擦拭一下，就好了，希望对你有帮助。

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