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  • Insp_078a148f

    第11楼2020/01/07

    厂家工程师太远了，如果买配件的话不能用还不能退，

    xiao-jin(xiao-jin) 发表:建议先向仪器厂家售后服务咨询一下，不要盲目自行拆动。

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  • lhl

    第12楼2020/01/07

    应助达人

    是电子流量控制吗？如果是，可能控制器有故障了。毛刺的可能原因有，1气源不干净，2收集极或喷嘴脏，3氢空尾吹流量控制不稳

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  • zyl3367898

    第13楼2020/01/07

    应助达人

    如果是EPC出问题，自己修不了，可能要更换。

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  • avih1981

    第14楼2020/01/11

    应助达人

    可以按上面的方法逐步排查

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