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  • p3326333

    第11楼2020/08/08

    其实不用关注前级真空度，程序升温导致真空度变化很正常。二级真空才是最终指标，只要氮氧浓度正常就是正常。

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  • lhl

    第12楼2020/08/08

    应助达人

    说明1mL/min的流量并不是理论上不变的，而可能变小了。

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  • symmacros

    第13楼2020/08/08

    应助达人

    正常现象，柱流速恒流，但载气阻力在不同温度不同。

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  • A

    第14楼2020/08/10

    解决了，问题是进样口EPC控制的流量偏大，进行压力零点校准就好了

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