我有三层腹肌
第11楼2021/08/17
我把图中三个黄色的拆下来FID
第12楼2021/08/17
我把图中三个黄色的,好的FID的上的拆了下来按在了FPD的板子上,试了,还是一样的问题,气体完全没有
第13楼2021/08/17
排查了,进样口没有漏气
第14楼2021/08/17
是把管路断开是吧?三个气体流量为负的了
Ins_6ed73db6
第15楼2021/08/17
学习了了解一下
lhl
第16楼2021/08/17
有可能是EPC电路板上的问题
xiaoheihei
第17楼2021/08/17
zyl3367898
第18楼2021/08/17
如果EPC没问题,软件设置的有问题吗?
第19楼2021/08/17
EPC模块里面藏了模块识别地址与设备信息,开机启动就能识别初始化模块,能识别正常,控制还不行就是epc模块比例阀电路自己问题,排除比例阀和气阻堵了。
dadgoh
第20楼2021/08/18
换柱子最好同时换密封石墨垫,并确保柱进口及出口密封良好。当载气压力正常了,仪器才能开启其他辅助气。所以,还是先检查一下柱两端密封。