能告诉我什么厂家什么型号的电镜是这样的吗?[/quote]
几乎所有欧系的都是涡轮泵加离子泵的，像FEI，ZEISS，TESCAN。。。。。。[/quote]

分子泵淘汰扩散泵已经是不争的事实

几乎所有欧系的都是涡轮泵加离子泵的，像FEI，ZEISS，TESCAN。。。。。。[/quote]

分子泵淘汰扩散泵已经是不争的事实[/quote]

首先声明一下,FEI的离子泵都是在Bake out之后自然冷却的,还没有哪个厂家蠢到用水冷的地步(至少FEI不是这样的).
离子泵也不需要定期加热的,除非换灯丝,加热就会引机械对中的偏差.合轴也是比较麻烦的事情,一般的用户是做不了的.

碰巧最近在学习罗茨泵，大概得了解了点离子泵的知识，吸气式离子泵大体上分为蒸发式和溅射式两种，蒸发式是需要加热的，工作温度大概在2000度左右，是需要冷却水的；溅射式工作温度在200~300度，没有特殊要求是不需要冷却水的；小型离子泵溅射式要好于蒸发式。纠正jeolzxj老师一点，几十年后如果有人说“没有哪个EDS厂家蠢到用液氮冷却的地步”，这是不可取的。

另外关于bake out的具体作用请两位老师给讲解一下，最好包括bake out对密封装置的影响和要求，看以前的帖子有cf sealing、in sealing之分（是指法兰密封么？），这个不太懂，请老师讲解，学生多谢了！

分子泵淘汰扩散泵已经是不争的事实[/quote]

首先声明一下,FEI的离子泵都是在Bake out之后自然冷却的,还没有哪个厂家蠢到用水冷的地步(至少FEI不是这样的).
离子泵也不需要定期加热的,除非换灯丝,加热就会引机械对中的偏差.合轴也是比较麻烦的事情,一般的用户是做不了的.
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日本式教育就是厉害，JEOL不懂离子泵，教育出来的人更不懂。见过很多JEOL的场发射SEM， 离子泵的安装位置(设计)就像白痴一样，令人难以置信。
离子泵水冷由来以久，JEOL破产了这么多次，怎么这个都还没有和欧系的竞争对手学到。
定期加热离子泵是其常规保养手段之一， 这个JEOL也没告诉你。
加热离子泵会引起机械对中偏差， 想必您是想说热胀冷缩， 所以水冷是很必要的呀。

分子泵淘汰扩散泵已经是不争的事实[/quote]

首先声明一下,FEI的离子泵都是在Bake out之后自然冷却的,还没有哪个厂家蠢到用水冷的地步(至少FEI不是这样的).
离子泵也不需要定期加热的,除非换灯丝,加热就会引机械对中的偏差.合轴也是比较麻烦的事情,一般的用户是做不了的.
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FEI的IGP是不用水冷的，FEI的冷却水主要是冷却透镜的，一部分设备的TMP也需要水冷。

长见识了。

加热离子泵会引起机械对中偏差， 想必您是想说热胀冷缩， 所以水冷是很必要的呀。[/quote]



极其蛋白质的回答..........
你到JEOL和FEI去问问,哪个厂家有这种理论.

上传了太多好东东，顶起！

我们用的就是水循环对扩散泵制冷的 FEI SIRION

ok aa sfs asf