您好！几个问题咨询下（当然，如果抽到10~20Pa只是服务于后级分子泵的进一步抽高真空，那下面问题就没任何意义了）：

（1）ICP-OES光室抽真空，抽到10~20Pa，仅仅是靠着机械泵或干泵自身抽力抽到嘛？有没有控制手段呢？
（2）光室10~20Pa这范围的真空度波动，对ICP测量精度或其他，有没有影响呢？
（3）另外，在ICP测试过程中，比如温度等因素的影响，会不会使光室真空度产生波动呢？这个温度造成的真空度波动对测量有没有影响呢？

没太接触过ICP，有些原理不是很清楚，所以咨询上述问题学习下ICP的真空控制，添麻烦了。

10~20 Pa 我说错了，根据岛津资料，应该是能抽到 1~10 Pa。机械泵抽到这个量级是没问题的。

你自己去 岛津分析计测仪器售后服务 微信公众号看吧。

光室恒温 是很常见的（比如通过热电偶 35度或者40度恒温）